掃描電子顯微鏡用于金屬失效分析,其原理是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí),被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線(xiàn)和連續(xù)譜X射線(xiàn)、背散射電子、透射電子,以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品形貌、組織、元素組成等信息。該設(shè)備主要用于特種設(shè)備金屬材料深度分析和失效分析,既可以為特種設(shè)備安全運(yùn)行提供保障,更可以為特種設(shè)備事故調(diào)查分析提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持。